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国家重大科学仪器设备开发项目在成都启动

本报成都讯 (记者韩清华张丽)10月9日,由成都太科光电技术有限责任公司承担的国家“十三五”重点研发计划重大科学仪器设备开发项目 《超光滑表面无损检测仪》正式启动。

  该仪器主要用于高精度非接触测量,可以广泛应用于高速集成电路、微电子集成电路、光电集成电路、半导体制造、半导体照明以及太阳能新能源电池等基片TTV、弯曲度、表面质量等关键参数的快速检测,还可应用于大型现代光学工程系统,如大型高功率固体激光系统、极紫外光刻、航空航天空间光学等领域中大口径元件面形、材料特性等参数测量。



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